כיצד לבחור את הכפפות החד פעמיות הנכונות לתהליך ליתוגרפיה של ופלים?

בייצור פרוסות מוליכים למחצה, תהליך הליתוגרפיה הוא שלב קריטי ומונע דיוק הקובע את תפוקת השבב. כ"ליבת החשיפה וההדמיה" בתהליך ייצור הפרוסות, ליתוגרפיה מקיפה את כל תהליך העבודה - כולל ציפוי ספין, חשיפה, פיתוח, איכול וניקוי רטוב - ומטילה דרישות מחמירות ביותר לניקיון סביבתי, בקרת זיהומים, הגנה אלקטרוסטטית ועמידות כימית. חלקיקי אבק ברמת מיקרון, נדידת יונים זעירה ופריקות אלקטרוסטטיות חולפות - כולם יכולים לגרום ישירות לפגמי פוטורזיסט, חוסר יישור דפוס, חמצון פרוסות וקצרים מיקרו במעגלים, מה שמוביל לגריטה של ​​פרוסות שלמות וכתוצאה מכך להפסדי ייצור עצומים. מפעלי ייצור רבים מתקשים לשפר את תפוקת תהליכי הפוטוליתוגרפיה שלהם. גם כאשר הציוד, התהליכים ופרמטרים סביבתיים תקינים, צוואר הבקבוק טמון לעתים קרובות בחומרים מתכלים להגנה על הידיים שנראים חסרי משמעות. כפפות רגילות מסוג 1,000 או ברמה תעשייתית אינן מתאימות לחלוטין לסטנדרטים הגבוהים במיוחד של תהליך הפוטוליתוגרפיה.

מדוע השימוש בכפפות רגילות לחדר נקי אסור בתהליך הליטוגרפיה?

שאריות אבקה גורמות לזיהום פוטורזיסט

יוני גופרית וכלור עודפים גורמים לשחיקה במעגלים על גבי הוופלים

חשמל סטטי יצא משליטה וגרם לקריסה בופל פוטוליתוגרפיה מדויק

התקלפות ונשירה, המובילות לפגמים של חומרים זרים בתהליך הייצור

כפפות ניטריל ללא אבקה LjieClean Class 100

חברת Suzhou Leader מתמקדת במגזר ייצור פרוסות מוליכים למחצה ומטפלת בנקודות כאב בתהליך הליתוגרפיה. פיתחנו כפפות ניטריל ייעודיות ללא אבקה ובעלות פליטת גזים נמוכה ברמה 100, העונות בצורה מושלמת על דרישות הייצור של כל תהליך הליתוגרפיה של פרוסות מוליכים, מה שהופך אותן לחומרי ההגנה המתכלים המועדפים על מפעלים רבים וחברות אריזה ובדיקה של פרוסות מוליכים.

1. תהליך ללא אבקה מבוססת דיכלוריד: אין זיהום אבקה בתהליך הפוטוליתוגרפיה

שיטה זו, המשתמשת בתהליך טיהור כלור ספציפי למחצה, אינה דורשת תוספת של תוספים נלווים כגון טלק, קורנפלור או שמן סיליקון לאורך כל התהליך. היא מבטיחה יישום חלק לאורך התהליך עצמו, תוך הסרת חלקיקי אבקה ושאריות שמן סיליקון המזהמים את הפוטורזיסט במקור, ובכך פותרת לחלוטין פגמים של חלקיקים זרים בתהליך הפוטוליתוגרפיה.

2 שטיפה רב-שלבית במים אולטרה-טהורים משיגה תכולת גופרית נמוכה, כלור נמוכה ותכולת יונים נמוכה

באמצעות מחזורים מרובים של שטיפה עמוקה במים בעלי טוהר גבוה, מוסרים תוספי חומרי גלם ושאריות פני השטח. תכולת הגופרית, הכלור ויוני המתכת המסיסים נשלטת בקפדנות, וכתוצאה מכך NVR (שאריות לא נדיפות) נמוך. זה מונע חמצון פרוסות, קורוזיה בציפוי ופגמי איכול, מה שהופך את הכפפות לתואמות לחלוטין לתהליכי הליתוגרפיה התובעניים עבור פרוסות בגודל 8 ו-12 אינץ'.

3 הגנה ESD משופרת בתבנית להגנה על פרוסות רגישות לאלקטרוסטטיות

בניגוד לכפפות אנטי-סטטיות הזמינות מסחרית עם ציפויי ריסוס זמניים, Gonars משתמשת בטכנולוגיית שינוי אנטי-סטטי בתוך התבנית על בסיס ניטריל. זה מבטיח עמידות פני שטח יציבה ואחידה, תוך פיזור מתמיד של חשמל סטטי לאורך כל התהליך כדי למנוע הצטברות חשמל סטטי שעלולה לגרום להתמוטטות הפוטורזיסט ולנזק למעגלי פרוסות מדויקים. היא מתאימה לשלבי ליתוגרפיה של ליבה כגון חשיפה ופיתוח.

4 גמיש ונוח, מתאים לפעולות מדויקות ברמת מיקרון

חומר הכפפה גמיש ומתאים את עצמו לקווי המתאר של היד. בעל עיצוב מרקם מונע החלקה בקצות האצבעות, היא קלת משקל ואינה מגושמת, מה שהופך אותה לאידיאלית לפעולות מדויקות כגון טיפול בפרוסות פוטוליתוגרפיה, ניפוי שגיאות בציוד ובדיקה מדויקת. היא מספקת תנועה בלתי מוגבלת ומונע החלקה, ובכך ממזערת ביעילות את הנזק הנגרם כתוצאה ממכות מקריות במהלך פעולות ידניות. בנוסף, היא עמידה בפני ממסי פוטוליתוגרפיה וחומצות ובסיסים עדינים, ונשארת עמידה ללא הזדקנות או קריעה גם במהלך שימוש ממושך.

5

✅ אריזה דו-שכבתית אטומה בוואקום מבטלת זיהום משני

מוצרים מוגמרים נארזים לאורך כל התהליך בחדר נקי Class 100 באמצעות אריזה דו-שכבתית אטומה בוואקום, המבודדת אותם לחלוטין מאבק ולחות במהלך האחסון וההובלה. אין זיהום משני עם פתיחת האריזה, מה שמאפשר שימוש מיידי בחדרי נקיון ליתוגרפיה Class 100.