על רקע דרישות "אפס פגמים" מחמירות יותר ויותר בייצור מוליכים למחצה, כפפות ניטריל דל כלור מדגם Lijie בגודל 9 אינץ' הפכו לציוד מגן הכרחי בשלבי עיבוד פרוסות סיליקון ואריזת שבבים, הודות לשאריות יוניות נמוכות במיוחד וביצועי ניקיון גבוהים. באמצעות עיבוד מיוחד, תכולת הכלור של הכפפה נשלטת בקפדנות על ≤50ppm - ועולה משמעותית על תקן התעשייה של 100ppm. זה מונע ביעילות סיכוני קורוזיה הנגרמים כתוצאה מנדידת יוני כלוריד על משטחי פרוסות סיליקון, ועומד בדרישות המחמירות של ייצור מוליכים למחצה לבקרת זיהום מיקרוסקופי.
במהלך תהליכי ליתוגרפיה, ניקיון הכפפות משפיע ישירות על דיוק ציפוי הפוטורזיסט ותוצאות החשיפה. מוצר זה, המיוצר בחדרי נקיון מסוג 100,000 ועובר הסרת אבק בלייזר, מציג פליטת חלקיקים על פני השטח של פחות מ-0.2 חלקיקים/אינץ' מרובע - ועומד בתקני החדרים הנקיים ISO Class 3. זה מונע ביעילות הידבקות של מיקרו-חלקיקים למשטחי פרוסות סיליקון, ובכך מפחית פגמים בליתוגרפיה. העיצוב באורך 9 אינץ' מספק כיסוי מלא מפרק כף היד ועד כף היד. בשילוב עם מבנה שרוול אלסטי, הוא מבטיח גמישות תפעולית תוך מניעת ביעילות נשירת אבק בפתח השרוול, ועומד בדרישות המחמירות לסביבות נקיות דינמיות בתהליכי ליתוגרפיה.
במהלך תהליכים הכוללים ריאגנטים קורוזיביים ביותר כגון איכול והשתלת יונים, כפפות אלו מפגינות עמידות כימית יוצאת דופן. לאחר בדיקת טבילה של 24 שעות בריאגנטים נפוצים למחצה כמו חומצה הידרופלואורית וחומצה זרחתית, הן אינן מציגות נפיחות או סדקים, עם קצב שינוי משקל מתחת ל-0.8%. זה מספק הגנה אמינה לידיים למפעילים תוך ביטול סיכוני זיהום ריאגנטים כתוצאה מנזק לכפפות. קצות האצבעות כוללות מרקמים נגד החלקה חרוטים בלייזר בעובי 0.02 מ"מ, מה שמגדיל את החיכוך ב-35% בעת טיפול בפרוסות 12 אינץ' ומפחית את הסיכון להחלקת הפרוסות ב-60%. זה משיג איזון בין בטיחות מגן ליציבות תפעולית.
כפפות אלו, המאושרות כיום לתקני SEMI F57, משמשות בקווי ייצור המוני בבתי יציקה מובילים, כולל SMIC ו-Hua Hong Semiconductor. הן מפחיתות את שיעורי גרוטאות פרוסות המזון הנגרמות ממגע ידיים ב-38%, ומבססות את עצמן כבחירה האידיאלית בייצור מוליכים למחצה לאיזון בין הגנה על חדרים נקיים לבין יעילות תפעולית.
זמן פרסום: 11 בנובמבר 2025